Documents dont le centre de recherche est "GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces"

I

Izquierdo, R., Desjardins, P., Elyaagoubi, N., & Meunier, M. (novembre 1992). Laser-Assisted Low-Temperature Deposition of WSiₓ from WF₆ and SiH₄ [Communication écrite]. Chemical Perspectives of Microelectronic Materials III, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. Lien externe

L

Lecours, A., Meunier, M., & Izquierdo, R. (1992). Laser-induced damaged formation and tungsten deposition on GaAs. Applied Surface Science, 54, 60-63. Lien externe

M

Meunier, M., Izquierdo, R., Desjardins, P., Tabbal, M., Lecours, A., & Yelon, A. (1992). Laser direct writing of tungsten from WF₆. Thin Solid Films, 218(1-2), 137-143. Lien externe

Meunier, M., Lavoie, C., Boivin, S., Izquierdo, R., & Desjardins, P. (1992). Modeling KrF excimer laser induced deposition of titanium from titanium tetrachloride. Applied Surface Science, 54, 52-55. Lien externe

T

Tabbal, M., Izquierdo, R., Meunier, M., & Yelon, A. (novembre 1992). Surface Interaction Between WF₆ and GaAs Under UV Laser Illumination [Communication écrite]. 1992 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. Lien externe