Surface Interaction Between WF₆ and GaAs Under UV Laser Illumination

M. Tabbal, R. Izquierdo, Michel Meunier, Arthur Yelon

Communication écrite (1992)

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Organismes subventionnaires:
Fonds FCAR of Québec, NSERC/CRSNG
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
1992 MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence:
Boston, Mass.
Date(s) de la conférence:
1992-11-30 - 1992-12-04
Titre de la revue :
MRS Proceedings ( vol. 282 )
Maison d'édition:
Materials Research Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35829
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Tabbal, M., Izquierdo, R., Meunier, M., & Yelon, A. (novembre 1992). Surface Interaction Between WF₆ and GaAs Under UV Laser Illumination [Communication écrite]. 1992 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. https://doi.org/10.1557/proc-282-191

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