Surface Interaction Between WF₆ and GaAs Under UV Laser Illumination

M. Tabbal, R. Izquierdo, Michel Meunier et Arthur Yelon

Communication écrite (1992)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
Organismes subventionnaires:	Fonds FCAR of Québec, NSERC/CRSNG
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35829/
Nom de la conférence:	1992 MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence:	Boston, Mass.
Date(s) de la conférence:	1992-11-30 - 1992-12-04
Titre de la revue:	MRS Proceedings (vol. 282)
Maison d'édition:	Materials Research Society
DOI:	10.1557/proc-282-191
URL officielle:	https://doi.org/10.1557/proc-282-191
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:28

Citer en APA 7:	Tabbal, M., Izquierdo, R., Meunier, M., & Yelon, A. (novembre 1992). Surface Interaction Between WF₆ and GaAs Under UV Laser Illumination [Communication écrite]. 1992 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. https://doi.org/10.1557/proc-282-191
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