Laser direct writing of tungsten from WF₆

Michel Meunier, R. Izquierdo, Patrick Desjardins, M. Tabbal, A. Lecours et Arthur Yelon

Article de revue (1992)

Un lien externe est disponible pour ce document

Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35792/
Titre de la revue:	Thin Solid Films (vol. 218, no 1-2)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/0040-6090(92)90911-t
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/0040-6090%2892%2990911-t
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:28

Citer en APA 7:	Meunier, M., Izquierdo, R., Desjardins, P., Tabbal, M., Lecours, A., & Yelon, A. (1992). Laser direct writing of tungsten from WF₆. Thin Solid Films, 218(1-2), 137-143. https://doi.org/10.1016/0040-6090%2892%2990911-t
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Répertoire des publications (EndNote)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel