Laser direct writing of tungsten from WF₆

Michel Meunier, R. Izquierdo, Patrick Desjardins, M. Tabbal, A. Lecours, Arthur Yelon

Article de revue (1992)

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Département:
Département de génie physique
Unité de recherche:
GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/35792/
Titre de la revue :
Thin Solid Films ( vol. 218 , no 1-2 )
Maison d'édition:
Elsevier
DOI:
10.1016/0040-6090(92)90911-t
URL officielle:
https://doi.org/10.1016/0040-6090%2892%2990911-t
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35792
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Meunier, M., Izquierdo, R., Desjardins, P., Tabbal, M., Lecours, A., & Yelon, A. (1992). Laser direct writing of tungsten from WF₆. Thin Solid Films, 218(1-2), 137-143. https://doi.org/10.1016/0040-6090%2892%2990911-t

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