R. Izquierdo, Patrick Desjardins
, N. Elyaagoubi, Michel Meunier
Communication écrite (1992)
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Département:
Unité de recherche:
Organismes subventionnaires:
Fonds pour la Formation des Chercheurs, Aide à la Recherche (FCAR) du Québec, CRSNG / NSERC
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
Chemical Perspectives of Microelectronic Materials III
Lieu de la conférence:
Boston, Mass.
Date(s) de la conférence:
1992-11-30 - 1992-12-04
Titre de la revue
:
MRS Proceedings
(
vol.
282
)
Maison d'édition:
Materials Research Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35744
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Izquierdo, R., Desjardins, P., Elyaagoubi, N., & Meunier, M. (novembre 1992). Laser-Assisted Low-Temperature Deposition of WSiₓ from WF₆ and SiH₄ [Communication écrite]. Chemical Perspectives of Microelectronic Materials III, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. https://doi.org/10.1557/proc-282-209
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