Diamond-like carbon films deposited in a dual microwave-radio-frequency plasma

O. M. Küttel, Ludvik Martinu, D. Poitras, Jolanta-Ewa Sapieha et Michael R. Wertheimer

Article de revue (1992)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38274/
Titre de la revue:	Materials Science and Engineering: B (vol. 11, no 1)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/0921-5107(92)90233-y
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/0921-5107%2892%2990233-y
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:32

Citer en APA 7:	Küttel, O. M., Martinu, L., Poitras, D., Sapieha, J.-E., & Wertheimer, M. R. (1992). Diamond-like carbon films deposited in a dual microwave-radio-frequency plasma. Materials Science and Engineering: B, 11(1), 321-324. https://doi.org/10.1016/0921-5107%2892%2990233-y
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