Diamond-like carbon films deposited in a dual microwave-radio-frequency plasma

O. M. Küttel, Ludvik Martinu, D. Poitras, Jolanta-Ewa Sapieha, Michael R. Wertheimer

Article de revue (1992)

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Titre de la revue :
Materials Science and Engineering: B ( vol. 11 , no 1 )
Maison d'édition:
Elsevier
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38274
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Küttel, O. M., Martinu, L., Poitras, D., Sapieha, J.-E., & Wertheimer, M. R. (1992). Diamond-like carbon films deposited in a dual microwave-radio-frequency plasma. Materials Science and Engineering: B, 11(1), 321-324. https://doi.org/10.1016/0921-5107%2892%2990233-y

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