A. Raveh, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu, Michael R. Wertheimer
Article de revue (1992)
Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
10
,
no
4
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38285
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Raveh, A., Sapieha, J.-E., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (1992). Deposition and properties of diamondlike carbon films produced in microwave and radio‐frequency plasma. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 10(4), 1723-1727. https://doi.org/10.1116/1.577777
Statistiques
Dimensions
