Modeling KrF excimer laser induced deposition of titanium from titanium tetrachloride

Michel Meunier, C. Lavoie, S. Boivin, R. Izquierdo et Patrick Desjardins

Article de revue (1992)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35793/
Titre de la revue:	Applied Surface Science (vol. 54)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/0169-4332(92)90016-q
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/0169-4332%2892%2990016-q
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:28

Citer en APA 7:	Meunier, M., Lavoie, C., Boivin, S., Izquierdo, R., & Desjardins, P. (1992). Modeling KrF excimer laser induced deposition of titanium from titanium tetrachloride. Applied Surface Science, 54, 52-55. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2892%2990016-q
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