Modeling KrF excimer laser induced deposition of titanium from titanium tetrachloride

Michel Meunier, C. Lavoie, S. Boivin, R. Izquierdo, Patrick Desjardins

Article de revue (1992)

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Département:
Département de génie physique
Unité de recherche:
GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/35793/
Titre de la revue :
Applied Surface Science ( vol. 54 )
Maison d'édition:
Elsevier
DOI:
10.1016/0169-4332(92)90016-q
URL officielle:
https://doi.org/10.1016/0169-4332%2892%2990016-q
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35793
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Meunier, M., Lavoie, C., Boivin, S., Izquierdo, R., & Desjardins, P. (1992). Modeling KrF excimer laser induced deposition of titanium from titanium tetrachloride. Applied Surface Science, 54, 52-55. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2892%2990016-q

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