Documents publiés en "1992"

Département de génie physique

Desjardins, P., Izquierdo, R., & Meunier, M. (1992). Dépôt par laser de WSiₓ sur du TiN à partir de WF₆ et de SiH₄. [Laser deposition of WSiₓ on TiN using a mixture of WF₆ and SiH₄]. Canadian Journal of Physics, 70(10-11), 898-903. Lien externe

Izquierdo, R., Desjardins, P., Elyaagoubi, N., & Meunier, M. (novembre 1992). Laser-Assisted Low-Temperature Deposition of WSiₓ from WF₆ and SiH₄ [Communication écrite]. Chemical Perspectives of Microelectronic Materials III, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. Lien externe

Lecours, A., Meunier, M., & Izquierdo, R. (1992). Laser-induced damaged formation and tungsten deposition on GaAs. Applied Surface Science, 54, 60-63. Lien externe

Meunier, M., Izquierdo, R., Desjardins, P., Tabbal, M., Lecours, A., & Yelon, A. (1992). Laser direct writing of tungsten from WF₆. Thin Solid Films, 218(1-2), 137-143. Lien externe

Meunier, M., Lavoie, C., Boivin, S., Izquierdo, R., & Desjardins, P. (1992). Modeling KrF excimer laser induced deposition of titanium from titanium tetrachloride. Applied Surface Science, 54, 52-55. Lien externe

Suys, M., Moffat, B., Bernier, M. H., Izquierdo, R., Poulin, S., Meunier, M., & Sacher, E. (novembre 1992). The Reduction of Cuᴵᴵ Compounds by Excimer Laser Irradiation for Copper Metal Deposition [Communication écrite]. 1992 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. Lien externe

Tabbal, M., Izquierdo, R., Meunier, M., & Yelon, A. (novembre 1992). Surface Interaction Between WF₆ and GaAs Under UV Laser Illumination [Communication écrite]. 1992 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. Lien externe