R. Snyders, D. Hegemann, D. Thiry, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha
et Ludvik Martinu
Article de revue (2023)
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| Département: | Département de génie physique |
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/54798/ |
| Titre de la revue: | Plasma Sources Science and Technology (vol. 32, no 7) |
| Maison d'édition: | IOP Publishing Ltd |
| DOI: | 10.1088/1361-6595/acdabc |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1088/1361-6595/acdabc |
| Date du dépôt: | 30 août 2023 09:52 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 23:02 |
| Citer en APA 7: | Snyders, R., Hegemann, D., Thiry, D., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2023). Foundations of plasma enhanced chemical vapor deposition of functional coatings. Plasma Sources Science and Technology, 32(7), 36 pages. https://doi.org/10.1088/1361-6595/acdabc |
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