Rony Snyders, Dirk Hegemann, Damien Thiry, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu
Article de revue (2023)
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Titre de la revue
:
Plasma Sources Science and Technology
(
vol.
32
,
no
7
)
Maison d'édition:
IOP Publishing Ltd
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:54798
ORCID
Date du dépôt:
30 août 2023 09:52
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:13
Citer en APA 7:
Snyders, R., Hegemann, D., Thiry, D., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2023). Foundations of plasma enhanced chemical vapor deposition of functional coatings. Plasma Sources Science and Technology, 32(7), 36 pages. https://doi.org/10.1088/1361-6595/acdabc
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