Simone Assali, Anis Attiaoui, Samik Mukherjee, Jérôme Nicolas, Oussama Moutanabbir
Article de revue (2018)
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Titre de la revue
:
Journal of Vacuum Science & Technology B
(
vol.
36
,
no
6
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:41490
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:02
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:52
Citer en APA 7:
Assali, S., Attiaoui, A., Mukherjee, S., Nicolas, J., & Moutanabbir, O. (2018). TEOS layers for low temperature processing of group IV optoelectronic devices. Journal of Vacuum Science & Technology B, 36(6), 8 pages. https://doi.org/10.1116/1.5047909
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