A. Amassian, S. Larouche, R. Vernhes, Jolanta-Ewa Sapieha
, Patrick Desjardins et Ludvik Martinu
Communication écrite (2002)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/26896/ |
| Nom de la conférence: | SPIE Regional Meeting on Optoelectronics, Photonics, and Imaging (Opto Canada 2002) |
| Lieu de la conférence: | Ottawa, Ont., Can. |
| Date(s) de la conférence: | 2002-05-09 - 2002-05-10 |
| Maison d'édition: | Society of photo-optical instrumentation engineers (SPIE) |
| DOI: | 10.1117/12.2283970 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1117/12.2283970 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:20 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:14 |
| Citer en APA 7: | Amassian, A., Larouche, S., Vernhes, R., Sapieha, J.-E., Desjardins, P., & Martinu, L. (mai 2002). Analysis and control of optical film growth by in situ real-time spectroscopic ellipsometry [Communication écrite]. SPIE Regional Meeting on Optoelectronics, Photonics, and Imaging (Opto Canada 2002), Ottawa, Ont., Can.. https://doi.org/10.1117/12.2283970 |
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