Aram Amassian, S. Larouche, R. Vernhes, Jolanta-Ewa Sapieha
, Patrick Desjardins, Ludvik Martinu
Communication écrite (2002)
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Département:
ISBN:
0819446114
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Nom de la conférence:
SPIE Regional Meeting on Optoelectronics, Photonics, and Imaging (Opto Canada 2002)
Lieu de la conférence:
Ottawa, Ont., Can.
Date(s) de la conférence:
2002-05-09 - 2002-05-10
Maison d'édition:
Society of photo-optical instrumentation engineers (SPIE)
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:26896
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:20
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:02
Citer en APA 7:
Amassian, A., Larouche, S., Vernhes, R., Sapieha, J.-E., Desjardins, P., & Martinu, L. (mai 2002). Analysis and control of optical film growth by in situ real-time spectroscopic ellipsometry [Communication écrite]. SPIE Regional Meeting on Optoelectronics, Photonics, and Imaging (Opto Canada 2002), Ottawa, Ont., Can.. https://doi.org/10.1117/12.2283970
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