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Effect of steady-state hydrogen coverage on the evolution of crosshatch morphology during Si1-xGex/Si(001) growth from hybride precursors

T. Spila, Patrick Desjardins, J. D'Arcy-Gall, R. D. Twesten et J. E. Greene

Article de revue (2003)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/25475/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 93, no 4)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.1533833
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.1533833
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:20
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:05
Citer en APA 7: Spila, T., Desjardins, P., D'Arcy-Gall, J., Twesten, R. D., & Greene, J. E. (2003). Effect of steady-state hydrogen coverage on the evolution of crosshatch morphology during Si1-xGex/Si(001) growth from hybride precursors. Journal of Applied Physics, 93(4), 1918-1925. https://doi.org/10.1063/1.1533833

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