Effect of steady-state hydrogen coverage on the evolution of crosshatch morphology during Si1-xGex/Si(001) growth from hybride precursors

T. Spila, Patrick Desjardins, J. D'Arcy-Gall, R. D. Twesten et J. E. Greene

Article de revue (2003)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/25475/
Titre de la revue:	Journal of Applied Physics (vol. 93, no 4)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1063/1.1533833
URL officielle:	https://doi.org/10.1063/1.1533833
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:20
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:11

Citer en APA 7:	Spila, T., Desjardins, P., D'Arcy-Gall, J., Twesten, R. D., & Greene, J. E. (2003). Effect of steady-state hydrogen coverage on the evolution of crosshatch morphology during Si1-xGex/Si(001) growth from hybride precursors. Journal of Applied Physics, 93(4), 1918-1925. https://doi.org/10.1063/1.1533833
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