Organometallic vapor phase epitaxy of GaAs₁₋ₓNₓ alloy layers on GaAs(001): Nitrogen incorporation and lattice parameter variation

J.-N. Beaudry, Rémo A. Masut, Patrick Desjardins, P. Wei, M. Chicoine, G. Bentoumi, R. Leonelli, F. Schiettekatte et S. Guillon

Article de revue (2004)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	RQMP - Regroupement québécois sur les matériaux de pointe
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/25298/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 22, no 3)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.1689296
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.1689296
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:	26 sept. 2024 11:55

Citer en APA 7:	Beaudry, J.-N., Masut, R. A., Desjardins, P., Wei, P., Chicoine, M., Bentoumi, G., Leonelli, R., Schiettekatte, F., & Guillon, S. (2004). Organometallic vapor phase epitaxy of GaAs₁₋ₓNₓ alloy layers on GaAs(001): Nitrogen incorporation and lattice parameter variation. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 22(3), 771-775. https://doi.org/10.1116/1.1689296
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