Thin film Ni-Si solid-state reactions: Phase formation sequence on amorphized Si

Pierre Turcotte-Tremblay, Matthieu Guihard, Simon Gaudet, Martin Chicoine, Christian Lavoie, Patrick Desjardins et François Schiettekatte

Article de revue (2013)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/13002/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena (vol. 31, no 5)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.4821550
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.4821550
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:10
Dernière modification:	05 avr. 2024 10:52

Citer en APA 7:	Turcotte-Tremblay, P., Guihard, M., Gaudet, S., Chicoine, M., Lavoie, C., Desjardins, P., & Schiettekatte, F. (2013). Thin film Ni-Si solid-state reactions: Phase formation sequence on amorphized Si. Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena, 31(5). https://doi.org/10.1116/1.4821550
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