Pierre Turcotte-Tremblay, Matthieu Guihard, Simon Gaudet, Martin Chicoine, Christian Lavoie, Patrick Desjardins
, François Schiettekatte
Article de revue (2013)
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Titre de la revue
:
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(
vol.
31
,
no
5
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:13002
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:10
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:13
Citer en APA 7:
Turcotte-Tremblay, P., Guihard, M., Gaudet, S., Chicoine, M., Lavoie, C., Desjardins, P., & Schiettekatte, F. (2013). Thin film Ni-Si solid-state reactions: Phase formation sequence on amorphized Si. Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena, 31(5). https://doi.org/10.1116/1.4821550
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