Fabrication of Fabry-Perot filters using porous-dense silicon nitride stacks with optimized interfaces

Richard Vernhes, Aram Amassian, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Communication écrite (2004)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	RQMP - Regroupement québécois sur les matériaux de pointe
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/53272/
Nom de la conférence:	Optical Interference Coatings
Lieu de la conférence:	Tucson, Arizona, USA
Date(s) de la conférence:	2004-06-27 - 2004-07-02
Maison d'édition:	OSA
DOI:	10.1364/oic.2004.thd4
URL officielle:	https://doi.org/10.1364/oic.2004.thd4
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:	26 sept. 2024 13:04

Citer en APA 7:	Vernhes, R., Amassian, A., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (juin 2004). Fabrication of Fabry-Perot filters using porous-dense silicon nitride stacks with optimized interfaces [Communication écrite]. Optical Interference Coatings, Tucson, Arizona, USA. https://doi.org/10.1364/oic.2004.thd4
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