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Hard AlN films prepared by low duty cycle magnetron sputtering and by other deposition techniques

Jiří Kohout, Jincheng Qian, Thomas Schmitt, Richard Vernhes, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2017)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38492/
Titre de la revue: Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 35, no 6)
Maison d'édition: AVS Science and Technology Society
DOI: 10.1116/1.4999460
URL officielle: https://doi.org/10.1116/1.4999460
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:04
Dernière modification: 25 avr. 2023 17:22
Citer en APA 7: Kohout, J., Qian, J., Schmitt, T., Vernhes, R., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2017). Hard AlN films prepared by low duty cycle magnetron sputtering and by other deposition techniques. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 35(6), 9 pages. https://doi.org/10.1116/1.4999460

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