Hard AlN films prepared by low duty cycle magnetron sputtering and by other deposition techniques

Jiří Kohout, Jincheng Qian, Thomas Schmitt, Richard Vernhes, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2017)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38492/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 35, no 6)
Maison d'édition:	AVS Science and Technology Society
DOI:	10.1116/1.4999460
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.4999460
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:04
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:22

Citer en APA 7:	Kohout, J., Qian, J., Schmitt, T., Vernhes, R., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2017). Hard AlN films prepared by low duty cycle magnetron sputtering and by other deposition techniques. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 35(6), 9 pages. https://doi.org/10.1116/1.4999460
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