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Durable AlN and Al2O3optical films deposited by low duty cycle pulsed magnetron sputtering

Jiří Kohout, Thomas Schmitt, Richard Vernhes, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Communication écrite (2016)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/37453/
Nom de la conférence: Optical Interference Coatings (OIC 2016)
Lieu de la conférence: Tucson, AZ, United states
Date(s) de la conférence: 2016-06-19 - 2016-06-24
Maison d'édition: Optical Society of America (OSA)
DOI: 10.1364/oic.2016.wa.6
URL officielle: https://doi.org/10.1364/oic.2016.wa.6
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:05
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:31
Citer en APA 7: Kohout, J., Schmitt, T., Vernhes, R., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (juin 2016). Durable AlN and Al2O3optical films deposited by low duty cycle pulsed magnetron sputtering [Communication écrite]. Optical Interference Coatings (OIC 2016), Tucson, AZ, United states. https://doi.org/10.1364/oic.2016.wa.6

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