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Deposition of TiN films using a thermal plasma reactive forming technology

S. Grenier, K. Shanker, P. Tsantrizos et Frank Ajersch

Article de revue (1996)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie électrique et de génie informatique
Département: Département de génie électrique
Département de génie informatique et génie logiciel
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/31283/
Titre de la revue: Surface & Coatings Technology (vol. 82, no 3)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/0257-8972(95)02744-0
URL officielle: https://doi.org/10.1016/0257-8972%2895%2902744-0
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:24
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:21
Citer en APA 7: Grenier, S., Shanker, K., Tsantrizos, P., & Ajersch, F. (1996). Deposition of TiN films using a thermal plasma reactive forming technology. Surface & Coatings Technology, 82(3), 311-316. https://doi.org/10.1016/0257-8972%2895%2902744-0

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