Solvent-assisted lithographic process using photosensitive sol-gel derived glass for depositing ridge waveguides on silicon

M. Amir Farfad, S. Iraj Najafi et Mark P. Andrews

Brevet (2000)

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Renseignements supplémentaires:	Nom historique du département: Département de génie électrique et de génie informatique
Département:	Département de génie électrique Département de génie informatique et génie logiciel
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/28198/
URL officielle:	https://patents.google.com/patent/US6054253
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:16

Citer en APA 7:	Farfad, M. A., Najafi, S. I., & Andrews, M. P. (2000). Solvent-assisted lithographic process using photosensitive sol-gel derived glass for depositing ridge waveguides on silicon. (Brevet no US6054253). https://patents.google.com/patent/US6054253
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