Solvent-assisted lithographic process using photosensitive sol-gel derived glass for depositing ridge waveguides on silicon

M. Amir Farfad, S. Iraj Najafi, Mark P. Andrews

Brevet (2000)

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Nom historique du département: Département de génie électrique et de génie informatique
Adresse URL de PolyPublie:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:28198
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Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:04
Citer en APA 7:
Farfad, M. A., Najafi, S. I., & Andrews, M. P. (2000). Solvent-assisted lithographic process using photosensitive sol-gel derived glass for depositing ridge waveguides on silicon. (Brevet no US6054253). https://patents.google.com/patent/US6054253

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