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Ultra-High doped Si1-xGex(001):B gas-source molecular beam epitaxy: boron surface segregation and its effect on film growth kinetics

H. Kim, G. Glass, Patrick Desjardins et J. E. Greene

Article de revue (2001)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/27303/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 89, no 1)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.1330244
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.1330244
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:21
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:14
Citer en APA 7: Kim, H., Glass, G., Desjardins, P., & Greene, J. E. (2001). Ultra-High doped Si1-xGex(001):B gas-source molecular beam epitaxy: boron surface segregation and its effect on film growth kinetics. Journal of Applied Physics, 89(1), 194-205. https://doi.org/10.1063/1.1330244

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