<  Retour au portail Polytechnique Montréal

Ultra-High doped Si1-xGex(001):B gas-source molecular beam epitaxy: boron surface segregation and its effect on film growth kinetics

H. Kim, G. Glass, Patrick Desjardins et J. E. Greene

Article de revue (2001)

Un lien externe est disponible pour ce document
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/27303/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 89, no 1)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.1330244
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.1330244
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:21
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:08
Citer en APA 7: Kim, H., Glass, G., Desjardins, P., & Greene, J. E. (2001). Ultra-High doped Si1-xGex(001):B gas-source molecular beam epitaxy: boron surface segregation and its effect on film growth kinetics. Journal of Applied Physics, 89(1), 194-205. https://doi.org/10.1063/1.1330244

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document Afficher document