T. Ohta, Fabio Cicoira
, P. Doppelt, L. Beitone et P. Hoffmann
Article de revue (2001)
Document publié alors que les auteurs ou autrices n'étaient pas affiliés à Polytechnique Montréal
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/27167/ |
|---|---|
| Titre de la revue: | Chemical Vapor Deposition (vol. 7, no 1) |
| Maison d'édition: | Wiley |
| DOI: | 10.1002/1521-3862(200101)7:1<33::aid-cvde33>3.0.co;2-y |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1002/1521-3862%28200101%297%3a1... |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:21 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:07 |
| Citer en APA 7: | Ohta, T., Cicoira, F., Doppelt, P., Beitone, L., & Hoffmann, P. (2001). Static vapor pressure measurement of low volatility precursors for molecular vapor deposition below ambient temperature. Chemical Vapor Deposition, 7(1), 33-37. https://doi.org/10.1002/1521-3862%28200101%297%3a1%3c33%3a%3aaid-cvde33%3e3.0.co%3b2-y |
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