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In situ ellipsometric study of the initial growth stages of a TiO₂ by PECVD

A. Amassian, S. Larouche, Jolanta-Ewa Sapieha, Patrick Desjardins et Ludvik Martinu

Communication écrite (2002)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/26897/
Nom de la conférence: 45th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters
Lieu de la conférence: Lake Buena Vista, FL, USA
Date(s) de la conférence: 2002-04-01 - 2002-04-30
URL officielle: https://www.svc.org/clientuploads/directory/resour...
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:20
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:07
Citer en APA 7: Amassian, A., Larouche, S., Sapieha, J.-E., Desjardins, P., & Martinu, L. (avril 2002). In situ ellipsometric study of the initial growth stages of a TiO₂ by PECVD [Communication écrite]. 45th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters, Lake Buena Vista, FL, USA. https://www.svc.org/clientuploads/directory/resource_library/02_250.pdf

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