In situ ellipsometric study of the initial growth stages of a TiO₂ by PECVD

Aram Amassian, Stéphane Larouche, Jolanta-Ewa Sapieha, Patrick Desjardins, Ludvik Martinu

Communication écrite (2002)

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Nom de la conférence:
45th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters
Lieu de la conférence:
Lake Buena Vista, FL, USA
Date(s) de la conférence:
2002-04-01 - 2002-04-30
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:26897
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:20
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:02
Citer en APA 7:
Amassian, A., Larouche, S., Sapieha, J.-E., Desjardins, P., & Martinu, L. (avril 2002). In situ ellipsometric study of the initial growth stages of a TiO₂ by PECVD [Communication écrite]. 45th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters, Lake Buena Vista, FL, USA. https://www.svc.org/clientuploads/directory/resource_library/02_250.pdf

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