A. Amassian, Patrick Desjardins
et Ludvik Martinu
Article de revue (2004)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/25351/ |
| Titre de la revue: | Thin Solid Films (vol. 447-448, no 3) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/j.tsf.2003.09.019 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.09.019 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:19 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:05 |
| Citer en APA 7: | Amassian, A., Desjardins, P., & Martinu, L. (2004). Study of TiO₂ film growth mechanisms in low-pressure plasma by in situ real-time spectroscopic ellipsometry. Thin Solid Films, 447-448(3), 40-45. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.09.019 |
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