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Interface engineering of porous/dense multilayers of SiN1.3: in situ real-time spectroscopic ellipsometry study

A. Amassian, R. Vernhes, Jolanta-Ewa Sapieha, Patrick Desjardins et Ludvik Martinu

Communication écrite (2004)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/25348/
Nom de la conférence: 47th Society of Vacuum Coaters Technical Conference
Date(s) de la conférence: 2004-01-01 - 2004-12-31
URL officielle: https://www.svc.org/clientuploads/directory/resour...
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:19
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:05
Citer en APA 7: Amassian, A., Vernhes, R., Sapieha, J.-E., Desjardins, P., & Martinu, L. (janvier 2004). Interface engineering of porous/dense multilayers of SiN1.3: in situ real-time spectroscopic ellipsometry study [Communication écrite]. 47th Society of Vacuum Coaters Technical Conference. https://www.svc.org/clientuploads/directory/resource_library/04_389.pdf

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