A. Amassian, R. Vernhes, Jolanta-Ewa Sapieha
, Patrick Desjardins et Ludvik Martinu
Communication écrite (2004)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/25348/ |
| Nom de la conférence: | 47th Society of Vacuum Coaters Technical Conference |
| Date(s) de la conférence: | 2004-01-01 - 2004-12-31 |
| URL officielle: | https://www.svc.org/clientuploads/directory/resour... |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:19 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:11 |
| Citer en APA 7: | Amassian, A., Vernhes, R., Sapieha, J.-E., Desjardins, P., & Martinu, L. (janvier 2004). Interface engineering of porous/dense multilayers of SiN1.3: in situ real-time spectroscopic ellipsometry study [Communication écrite]. 47th Society of Vacuum Coaters Technical Conference. https://www.svc.org/clientuploads/directory/resource_library/04_389.pdf |
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