Aram Amassian, Patrick Desjardins
, Ludvik Martinu
Article de revue (2006)
Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
24
,
no
1
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:23454
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:57
Citer en APA 7:
Amassian, A., Desjardins, P., & Martinu, L. (2006). Ion-surface interactions on c-Si(001) at the radiofrequency-powered electrode in low-pressure plasmas: ex situ spectroscopic ellipsometry and Monte Carlo simulation study. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 24(1), 45-54. https://doi.org/10.1116/1.2134709
Statistiques
Dimensions
