Ion-surface interactions on c-Si(001) at the radiofrequency-powered electrode in low-pressure plasmas: ex situ spectroscopic ellipsometry and Monte Carlo simulation study

Aram Amassian, Patrick Desjardins et Ludvik Martinu

Article de revue (2006)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	RQMP - Regroupement québécois sur les matériaux de pointe
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/23454/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 24, no 1)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.2134709
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.2134709
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:	26 sept. 2024 13:11

Citer en APA 7:	Amassian, A., Desjardins, P., & Martinu, L. (2006). Ion-surface interactions on c-Si(001) at the radiofrequency-powered electrode in low-pressure plasmas: ex situ spectroscopic ellipsometry and Monte Carlo simulation study. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 24(1), 45-54. https://doi.org/10.1116/1.2134709
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