Dynamics of ion bombardment-induced modifications of Si(001) at the radio-frequency-biased electrode in low-pressure oxygen plasmas: in situ spectroscopic ellipsometry and Monte Carlo study

A. Amassian, M. Svec, Patrick Desjardins et Ludvik Martinu

Article de revue (2006)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/23451/
Titre de la revue:	Journal of Applied Physics (vol. 100, no 6)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1063/1.2337260
URL officielle:	https://doi.org/10.1063/1.2337260
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:08

Citer en APA 7:	Amassian, A., Svec, M., Desjardins, P., & Martinu, L. (2006). Dynamics of ion bombardment-induced modifications of Si(001) at the radio-frequency-biased electrode in low-pressure oxygen plasmas: in situ spectroscopic ellipsometry and Monte Carlo study. Journal of Applied Physics, 100(6), 063526. https://doi.org/10.1063/1.2337260
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