A. Amassian, Martin Švec, Patrick Desjardins
, Ludvik Martinu
Article de revue (2006)
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Titre de la revue
:
Journal of Applied Physics
(
vol.
100
,
no
6
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:23451
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:57
Citer en APA 7:
Amassian, A., Švec, M., Desjardins, P., & Martinu, L. (2006). Dynamics of ion bombardment-induced modifications of Si(001) at the radio-frequency-biased electrode in low-pressure oxygen plasmas: in situ spectroscopic ellipsometry and Monte Carlo study. Journal of Applied Physics, 100(6), 063526. https://doi.org/10.1063/1.2337260
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