A. Amassian, M. Svec, Patrick Desjardins
et Ludvik Martinu
Article de revue (2006)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | RQMP - Regroupement québécois sur les matériaux de pointe |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/23451/ |
| Titre de la revue: | Journal of Applied Physics (vol. 100, no 6) |
| Maison d'édition: | American Institute of Physics |
| DOI: | 10.1063/1.2337260 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1063/1.2337260 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:17 |
| Dernière modification: | 27 sept. 2024 13:55 |
| Citer en APA 7: | Amassian, A., Svec, M., Desjardins, P., & Martinu, L. (2006). Dynamics of ion bombardment-induced modifications of Si(001) at the radio-frequency-biased electrode in low-pressure oxygen plasmas: in situ spectroscopic ellipsometry and Monte Carlo study. Journal of Applied Physics, 100(6), 063526. https://doi.org/10.1063/1.2337260 |
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