 | Monter d'un niveau |
Antaki, R. (1996). Intégration de la gravure anisotrope du silicium dans la fabrication d'un micro-administrateur pharmaceutique [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal]. Non disponible
Nikpour, B., Naseh, S., Landsberger, L. M., Kahrizi, M., Paranjape, M., Antaki, R., & Currie, J. F. (1998). Release-Control Structures for Cantilever-Based Sensors. Sensors and Materials, 10(5), 287-296. Lien externe
