Release-control structure for post-process release of a micromachined cantilever

Sasan Naseh, Leslie M. Landsberger, Makarand Paranjape, B. Nikpour, Mojtaba Kahrizi, Robert Antaki, John F. Currie

Communication écrite (1996)

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Département:
Département de génie physique
ISBN:
0780331435
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/31011/
Nom de la conférence:
Canadian Conference on Electrical and Computer Engineering : Glimpse into the 21st century
Lieu de la conférence:
Calgary, AB, Canada
Date(s) de la conférence:
1996-05-26 - 1996-05-29
Maison d'édition:
Institute of Electrical and Electronics Engineers
DOI:
10.1109/ccece.1996.548043
URL officielle:
https://doi.org/10.1109/ccece.1996.548043
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:31011
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:24
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:17
Citer en APA 7:
Naseh, S., Landsberger, L. M., Paranjape, M., Nikpour, B., Kahrizi, M., Antaki, R., & Currie, J. F. (mai 1996). Release-control structure for post-process release of a micromachined cantilever [Communication écrite]. Canadian Conference on Electrical and Computer Engineering : Glimpse into the 21st century, Calgary, AB, Canada. https://doi.org/10.1109/ccece.1996.548043

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