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Release-control structure for post-process release of a micromachined cantilever

S. Naseh, L. M. Landsberger, M. Paranjape, B. Nikpour, M. Kahrizi, R. Antaki et John F. Currie

Communication écrite (1996)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/31011/
Nom de la conférence: Canadian Conference on Electrical and Computer Engineering : Glimpse into the 21st century
Lieu de la conférence: Calgary, AB, Canada
Date(s) de la conférence: 1996-05-26 - 1996-05-29
Maison d'édition: Institute of Electrical and Electronics Engineers
DOI: 10.1109/ccece.1996.548043
URL officielle: https://doi.org/10.1109/ccece.1996.548043
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:24
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:20
Citer en APA 7: Naseh, S., Landsberger, L. M., Paranjape, M., Nikpour, B., Kahrizi, M., Antaki, R., & Currie, J. F. (mai 1996). Release-control structure for post-process release of a micromachined cantilever [Communication écrite]. Canadian Conference on Electrical and Computer Engineering : Glimpse into the 21st century, Calgary, AB, Canada. https://doi.org/10.1109/ccece.1996.548043

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