Dépôt de composés inorganiques du Si par plasma CVD sur substrats polymériques : caractérisation structurale et fonctionnelle

Argemiro Soares Da Silva Sobrinho

Thèse de doctorat (1999)

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0612488799; 9780612488793
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École Polytechnique de Montréal
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oai:publications.polymtl.ca:8647
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Date du dépôt:
04 août 2021 11:05
Dernière modification:
08 oct. 2026 16:50
Citer en APA 7:
Da Silva Sobrinho, A. S. (1999). Dépôt de composés inorganiques du Si par plasma CVD sur substrats polymériques : caractérisation structurale et fonctionnelle [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/8647/

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