Dépôt de composés inorganiques du Si par plasma CVD sur substrats polymériques : caractérisation structurale et fonctionnelle

Argemiro Soares Da Silva Sobrinho

Thèse de doctorat (1999)

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Département:	Département de génie physique
Directeurs ou directrices:	Michael R. Wertheimer
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/8647/
Université/École:	École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt:	04 août 2021 11:05
Dernière modification:	06 avr. 2024 11:00

Citer en APA 7:	Da Silva Sobrinho, A. S. (1999). Dépôt de composés inorganiques du Si par plasma CVD sur substrats polymériques : caractérisation structurale et fonctionnelle [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/8647/
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