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Dépôt de composés inorganiques du Si par plasma CVD sur substrats polymériques : caractérisation structurale et fonctionnelle

Argemiro Soares Da Silva Sobrinho

Thèse de doctorat (1999)

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Département: Département de génie physique
Directeurs ou directrices: Michael R. Wertheimer
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/8647/
Université/École: École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt: 04 août 2021 11:05
Dernière modification: 30 sept. 2024 13:54
Citer en APA 7: Da Silva Sobrinho, A. S. (1999). Dépôt de composés inorganiques du Si par plasma CVD sur substrats polymériques : caractérisation structurale et fonctionnelle [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/8647/

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