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Fabrication et analyse de revêtements de nitrure de silicium déposés par plasma pour de nouvelles applications optiques

Richard Vernhes

Thèse de doctorat (2006)

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Mots clés

Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma; Couches minces; Revêtements optiques; Nitrure de silicium; Filtres optiques

Renseignements supplémentaires: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/271429430
Département: Département de génie physique
Directeurs ou directrices: Ludvik Martinu et Jolanta-Ewa Sapieha
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/7783/
Université/École: École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt: 04 août 2021 11:05
Dernière modification: 08 avr. 2024 09:45
Citer en APA 7: Vernhes, R. (2006). Fabrication et analyse de revêtements de nitrure de silicium déposés par plasma pour de nouvelles applications optiques [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7783/

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