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Fabrication et analyse de revêtements de nitrure de silicium déposés par plasma pour de nouvelles applications optiques

Richard Vernhes

PhD thesis (2006)

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Cite this document: Vernhes, R. (2006). Fabrication et analyse de revêtements de nitrure de silicium déposés par plasma pour de nouvelles applications optiques (PhD thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/7783/
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Abstract

Dépôt et caractéristiques du nitrure de silicium -- Méthodologie expérimentale -- Alliages de nitrure de sillicium par plasma RF pulsé -- Filtres optiques rugates à partir de gradients microstructuraux de nitrure de silicium -- Filtres optiques multicouches avec traitement des couches poreuses par plasma -- Filtres optiques poreux pour senseurs de gaz.

Uncontrolled Keywords

Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma; Couches minces; Revêtements optiques; Nitrure de silicium; Filtres optiques

Open Access document in PolyPublie
Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/271429430
Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 25 Aug 2021 14:58
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/7783/

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