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Fabrication et analyse de revêtements de nitrure de silicium déposés par plasma pour de nouvelles applications optiques

Richard Vernhes

Ph.D. thesis (2006)

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Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma; Couches minces; Revêtements optiques; Nitrure de silicium; Filtres optiques

Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/271429430
Department: Department of Engineering Physics
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/7783/
Institution: École Polytechnique de Montréal
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 17 Nov 2022 03:29
Cite in APA 7: Vernhes, R. (2006). Fabrication et analyse de revêtements de nitrure de silicium déposés par plasma pour de nouvelles applications optiques [Ph.D. thesis, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7783/

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