Ph.D. thesis (2006)
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Uncontrolled Keywords
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma; Couches minces; Revêtements optiques; Nitrure de silicium; Filtres optiques
| Additional Information: | Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/271429430 |
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| Department: | Department of Engineering Physics |
| Academic/Research Directors: |
Ludvik Martinu and Jolanta-Ewa Sapieha
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| PolyPublie URL: | https://publications.polymtl.ca/7783/ |
| Institution: | École Polytechnique de Montréal |
| Date Deposited: | 04 Aug 2021 11:05 |
| Last Modified: | 28 Sep 2024 10:21 |
| Cite in APA 7: | Vernhes, R. (2006). Fabrication et analyse de revêtements de nitrure de silicium déposés par plasma pour de nouvelles applications optiques [Ph.D. thesis, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7783/ |
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