Richard Vernhes
PhD thesis (2006)
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| Cite this document: | Vernhes, R. (2006). Fabrication et analyse de revêtements de nitrure de silicium déposés par plasma pour de nouvelles applications optiques (PhD thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/7783/ |
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Abstract
Dépôt et caractéristiques du nitrure de silicium -- Méthodologie expérimentale -- Alliages de nitrure de sillicium par plasma RF pulsé -- Filtres optiques rugates à partir de gradients microstructuraux de nitrure de silicium -- Filtres optiques multicouches avec traitement des couches poreuses par plasma -- Filtres optiques poreux pour senseurs de gaz.
Uncontrolled Keywords
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma; Couches minces; Revêtements optiques; Nitrure de silicium; Filtres optiques
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| Additional Information: | Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/271429430 |
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| Department: | Département de génie physique |
| Date Deposited: | 04 Aug 2021 11:05 |
| Last Modified: | 25 Aug 2021 14:58 |
| PolyPublie URL: | https://publications.polymtl.ca/7783/ |
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