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Fabrication et analyse de revêtements de nitrure de silicium déposés par plasma pour de nouvelles applications optiques

Richard Vernhes

Thèse de doctorat (2006)

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Département: Département de génie physique
Directeurs ou directrices: Ludvik Martinu et Jolanta-Ewa Sapieha
ISBN: 9780494245514; 0494245514
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/7783/
Université/École: École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt: 04 août 2021 11:05
Dernière modification: 28 sept. 2024 10:21
Citer en APA 7: Vernhes, R. (2006). Fabrication et analyse de revêtements de nitrure de silicium déposés par plasma pour de nouvelles applications optiques [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7783/

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