Thèse de doctorat (2005)
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Mots clés
Plasma (Gaz ionisés); Bombardement ionique; Ellipsométrie; Spectroscopie atomique; Méthode de Monte-Carlo
| Renseignements supplémentaires: | Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/182040088 |
|---|---|
| Département: | Département de génie physique |
| Directeurs ou directrices: |
Ludvik Martinu et Patrick Desjardins
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/7544/ |
| Université/École: | École Polytechnique de Montréal |
| Date du dépôt: | 04 août 2021 11:05 |
| Dernière modification: | 27 sept. 2024 21:43 |
| Citer en APA 7: | Amassian, A. (2005). Ion bombardment effects in low-pressure plasmas : in situ spectroscopic ellipsometry and Monte-Carlo simulation study [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7544/ |
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