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Ion bombardment effects in low-pressure plasmas : in situ spectroscopic ellipsometry and Monte-Carlo simulation study

Aram Amassian

Thèse de doctorat (2005)

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Mots clés

Plasma (Gaz ionisés); Bombardement ionique; Ellipsométrie; Spectroscopie atomique; Méthode de Monte-Carlo

Renseignements supplémentaires: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/182040088
Département: Département de génie physique
Directeurs ou directrices: Ludvik Martinu et Patrick Desjardins
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/7544/
Université/École: École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt: 04 août 2021 11:05
Dernière modification: 27 juil. 2023 12:30
Citer en APA 7: Amassian, A. (2005). Ion bombardment effects in low-pressure plasmas : in situ spectroscopic ellipsometry and Monte-Carlo simulation study [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7544/

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