Probing the Strain States in Nanopatterned Strained SOI

Oussama Moutanabbir, Manfred Reiche, N. D. Zakharov, Angelika Hähnel, W. Erfurth, Falk Naumann, Matthias Petzold, Martin V. Holt, J. Mäser, Ulrich Goesele

Article de revue (2009)

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Titre de la revue :
ECS Meeting Abstracts ( vol. MA2009-02 , no 22 )
Maison d'édition:
Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:74555
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Date du dépôt:
30 juil. 2026 14:56
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:36
Citer en APA 7:
Moutanabbir, O., Reiche, M., Zakharov, N. D., Hähnel, A., Erfurth, W., Naumann, F., Petzold, M., Holt, M. V., Mäser, J., & Goesele, U. (2009). Probing the Strain States in Nanopatterned Strained SOI. ECS Meeting Abstracts, MA2009-02(22), 1964-1964. https://doi.org/10.1149/ma2009-02/22/1964

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