Strain Stability in Nanoscale Patterned Strained Silicon-On-Insulator

Oussama Moutanabbir, Manfred Reiche, Angelika Hähnel, W. Erfurth, Alvarado Tarun, Norihiko Hayazawa, Satoshi Kawata, Falk Naumann et Matthias Petzold

Article de revue (2010)

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Organismes subventionnaires:	Bundesministerium für Bildung und Forschung
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/74552/
Titre de la revue:	ECS Transactions (vol. 33, no 6)
Maison d'édition:	Institute of Physics
DOI:	10.1149/1.3487581
URL officielle:	https://doi.org/10.1149/1.3487581
Date du dépôt:	30 juil. 2026 15:00
Dernière modification:	30 juil. 2026 15:00

Citer en APA 7:	Moutanabbir, O., Reiche, M., Hähnel, A., Erfurth, W., Tarun, A., Hayazawa, N., Kawata, S., Naumann, F., & Petzold, M. (2010). Strain Stability in Nanoscale Patterned Strained Silicon-On-Insulator. ECS Transactions, 33(6), 511-522. https://doi.org/10.1149/1.3487581
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