Strain Stability in Nanoscale Patterned Strained Silicon-On-Insulator

Oussama Moutanabbir, Manfred Reiche, Angelika Hähnel, W. Erfurth, Alvarado Tarun, Norihiko Hayazawa, Satoshi Kawata, Falk Naumann, Matthias Petzold

Article de revue (2010)

Document publié alors que les auteurs ou autrices n'étaient pas affiliés à Polytechnique Montréal

Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel

Mots clés

Organismes subventionnaires:
Bundesministerium für Bildung und Forschung
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
ECS Transactions ( vol. 33 , no 6 )
Maison d'édition:
Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:74552
ORCID
Date du dépôt:
30 juil. 2026 15:00
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:36
Citer en APA 7:
Moutanabbir, O., Reiche, M., Hähnel, A., Erfurth, W., Tarun, A., Hayazawa, N., Kawata, S., Naumann, F., & Petzold, M. (2010). Strain Stability in Nanoscale Patterned Strained Silicon-On-Insulator. ECS Transactions, 33(6), 511-522. https://doi.org/10.1149/1.3487581

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document
Afficher document