Probing the Strain States in Nanopatterned Strained SOI

Oussama Moutanabbir, Manfred Reiche, Angelika Hähnel, Wilfred Erfurth, Falk Naumann, Matthias Petzold, Ulrich Goesele

Article de revue (2009)

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Organismes subventionnaires:
Bundesministerium für Bildung und Forschung
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Titre de la revue :
ECS Transactions ( vol. 25 , no 3 )
Maison d'édition:
Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:74547
ORCID
Date du dépôt:
30 juil. 2026 15:02
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:36
Citer en APA 7:
Moutanabbir, O., Reiche, M., Hähnel, A., Erfurth, W., Naumann, F., Petzold, M., & Goesele, U. (2009). Probing the Strain States in Nanopatterned Strained SOI. ECS Transactions, 25(3), 187-194. https://doi.org/10.1149/1.3204406

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