Probing the Strain States in Nanopatterned Strained SOI

Oussama Moutanabbir, Manfred Reiche, Angelika Hähnel, Wilfred Erfurth, Falk Naumann, Matthias Petzold et Ulrich Goesele

Article de revue (2009)

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Organismes subventionnaires:	Bundesministerium für Bildung und Forschung
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/74547/
Titre de la revue:	ECS Transactions (vol. 25, no 3)
Maison d'édition:	Institute of Physics
DOI:	10.1149/1.3204406
URL officielle:	https://doi.org/10.1149/1.3204406
Date du dépôt:	30 juil. 2026 15:02
Dernière modification:	30 juil. 2026 15:02

Citer en APA 7:	Moutanabbir, O., Reiche, M., Hähnel, A., Erfurth, W., Naumann, F., Petzold, M., & Goesele, U. (2009). Probing the Strain States in Nanopatterned Strained SOI. ECS Transactions, 25(3), 187-194. https://doi.org/10.1149/1.3204406
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