Srikumar Sandeep, Alexander Kokhanovsky
Article de revue (2016)
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Département:
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Titre de la revue
:
International Journal of Microwave Engineering
(
vol.
1
,
no
4
)
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:61769
ORCID
Date du dépôt:
08 janv. 2025 11:07
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:22
Citer en APA 7:
Sandeep, S., & Kokhanovsky, A. (2016). Modeling Study of Laser Beam Scattering by Defects on Semiconductor Wafers. International Journal of Microwave Engineering, 1(4), 35-43. https://doi.org/10.5121/jmicro.2016.1404
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