Srikumar Sandeep et Alexander Kokhanovsky
Article de revue (2016)
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| Département: | Département de génie électrique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/61769/ |
| Titre de la revue: | International Journal of Microwave Engineering (vol. 1, no 4) |
| DOI: | 10.5121/jmicro.2016.1404 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.5121/jmicro.2016.1404 |
| Date du dépôt: | 08 janv. 2025 11:07 |
| Dernière modification: | 08 janv. 2025 11:07 |
| Citer en APA 7: | Sandeep, S., & Kokhanovsky, A. (2016). Modeling Study of Laser Beam Scattering by Defects on Semiconductor Wafers. International Journal of Microwave Engineering, 1(4), 35-43. https://doi.org/10.5121/jmicro.2016.1404 |
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