In-situ monitoring of stress evolution in high power impulse magnetron sputtering-deposited Ti-Al-N films: Effect of substrate bias and temperature

P. R. T. Avila, O. Zabeida, L. B. Varela, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2023)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/56295/
Titre de la revue:	Thin Solid Films (vol. 784)
Maison d'édition:	Elsevier B.V.
DOI:	10.1016/j.tsf.2023.140069
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2023.140069
Date du dépôt:	02 nov. 2023 15:35
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:47

Citer en APA 7:	Avila, P. R. T., Zabeida, O., Varela, L. B., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2023). In-situ monitoring of stress evolution in high power impulse magnetron sputtering-deposited Ti-Al-N films: Effect of substrate bias and temperature. Thin Solid Films, 784, 140069 (13 pages). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2023.140069
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