Erratum: Ion beam assisted chemical vapor deposition of hybrid coatings-Process diagnostics and mechanisms

Artem Shelemin, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2023)

Un lien externe est disponible pour ce document

Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/53480/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces and Films (vol. 41, no 3)
Maison d'édition:	AVS Science and Technology Society
DOI:	10.1116/6.0002558
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/6.0002558
Date du dépôt:	10 juil. 2023 16:30
Dernière modification:	08 avr. 2025 07:22

Citer en APA 7:	Shelemin, A., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2023). Erratum: Ion beam assisted chemical vapor deposition of hybrid coatings-Process diagnostics and mechanisms. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, 41(3), 2 pages. https://doi.org/10.1116/6.0002558
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel