Artem Shelemin, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu
Article de revue (2023)
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Titre de la revue
:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
(
vol.
41
,
no
3
)
Maison d'édition:
AVS Science and Technology Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:53480
ORCID
Date du dépôt:
10 juil. 2023 16:30
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:11
Citer en APA 7:
Shelemin, A., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2023). Erratum: Ion beam assisted chemical vapor deposition of hybrid coatings : process diagnostics and mechanisms. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, 41(3), 2 pages. https://doi.org/10.1116/6.0002558
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