Erratum: Ion beam assisted chemical vapor deposition of hybrid coatings-Process diagnostics and mechanisms

Artem Shelemin, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2023)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/53480/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces and Films (vol. 41, no 3)
Maison d'édition:	AVS Science and Technology Society
DOI:	10.1116/6.0002558
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/6.0002558
Date du dépôt:	10 juil. 2023 16:30
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:58

Citer en APA 7:	Shelemin, A., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2023). Erratum: Ion beam assisted chemical vapor deposition of hybrid coatings-Process diagnostics and mechanisms. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, 41(3), 2 pages. https://doi.org/10.1116/6.0002558
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